市场监管总局同意发布85项国家规范物质支撑“双碳”和精细制作

  ：本年1月11月，市场监管总局新同意发布85项服务“双碳”作业和精细制作工业高质量开展的国家规范物质，为进步碳丈量数据和精细制作丈量数据精准性供给有力支撑。

  在服务“双碳”作业方面，同意发布空气中二氧化碳气体、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合气体等72项碳计量国家规范物质。碳计量规范物质用来校准常用的碳检测设备，如碳组分分析仪、红外气体分析仪等，保证仪器丈量精度，也可用来标定现场碳监测设备，如环境空气质量主动监测站、工业废气排放监测仪等，保证现场数据线%由企业研发出产。

  在服务精细制作工业高质量开展方面，同意发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家规范物质。在半导体器材制作的完好过程中，高纯度电子气体规范物质可用于清洗、刻蚀、堆积等多个关键环节，保证晶圆的纯净度和功能。在集成电路出产的悉数过程中，高纯度电子气体规范物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着及其重要的效果，保证集成电路的稳定性和可靠性。新同意发布的13项电子气体国家规范物质中，93%的研发单位坐落华东、华北地区，呈现出与工业集群协同开展的新趋势。

  市场监管总局将加速推动碳计量和精细制作范畴规范物质研发出产，继续推动国家规范物质系统建造，为咱们国家的经济社会高水平质量的开展供给助力。